Alicat的LKF5系列数字式质量流量控制器可精确、快速控制

腐蚀性气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的质量

流量、体积流量、压力和温度。LKF5系列质量流量控制器

通过定制化的高速比例控制阀还可精确控制腐蚀性过程

气体的质量流量、体积流量和压力。

更适用于液体气化后的流量控制。

如：氨水、硅油气化后，限度允许气体湿度195%。